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芯源公司成立于2002年12月17日，由中科院沈阳自动化研究所与韩国公司共同投资兴办，是以半导体生产设备的研发、制造为主的高科技企业，注册资本420万美元，总投资840万美元，中方控股。 公司的主营产品为Track system。它是半导体集成电路生产线前道工序不可缺少的重要生产设备，最高可满足0.18微米的加工线宽。该设备采用模块化设计，结构紧凑，模块单元数可根据客户要求配置；操作系统为WINDOWS NT，控制软件具有良好的人机界面，操作简单；加工的晶片尺寸可由4英寸-8英寸（可根据客户的要求进行配置），目前Track system已可进行大规模批量生产，其性能已具备国际水准，在国内居领先地位。 公司创立伊始就把质量作为生存和发展的根基。公司始终以 “ 构筑让客户放心与信赖的工厂 ” 作为发展目标，以“以全过程的持续改进和产品质量的提升赢得顾客信赖”作为质量方针。“信赖”不只是顾客对公司产品 “符合要求”的满意，而且是对公司的信誉以及员工人格的信任。要求能够制造出“融入员工智慧与精神”的产品。芯源公司将永远致力于研发、制造世界一流的半导体生产设备并提供相关服务，对产品质量及服务的追求是高水平的而不只是“适合”。为了达到国际质量标准要求，芯源公司2003年已顺利取得 ISO9001 - 2000 质量管理体系认证。司拥有良好的软硬件环境。经过严格的筛选和不断的培训，公司形成了一支高素质、高效率、专业化的精干员工队伍。 现有员工 58 人其中半导体设备开发人员 37 名 。为了创造大规模生产半导体设备的一流环境，2004年4月公司在沈阳市浑南新区先进制造技术产业园 （简称AMT园）投资1500万元兴建的生产和研发基地正式启用。该基地占地 18630平方米 ，基地内有宽敞明亮、功能齐全的现代化办公楼3000平方米，有达到国内一流标准的高等级净化厂房2000平方米。基地内环境优雅、绿意融融，绿化率高达 30.2% 。整个厂区布局合理，功能设施完备，是现代化的高科技厂区。由于集成电路产业的特殊性，公司一直都本着立足中国、放眼世界的发展方针，积极开展各种层次的国际交流合作。2004年初公司在上海设立办事处，逐渐向国际市场拓展。 集成电路产业是国家重点发展的高科技产业， 集成电路制造的生产装备又是集成电路产业的源头， 辽宁省和沈阳市也已确定将半导体装备产业作为老工业基地振兴的新生长点予以特殊扶持，因而公司作为省市发展战略的重要环节而倍受关注，科技部以及省市领导曾多次到公司考察、指导工作，各级政府和有关部门也给予了公司大力的支持。 芯源公司矢志成为中国 IC装备的领航者，通过自身的发展带动辽沈地区的IC装备制造早日产业化、规模化，为中国的IC装备发展史写下壮丽的诗篇。